FFU fan filtri moslamasi oʻzining quvvatiga va oʻrnatilgan yuqori samarali filtriga ega modulli havo tozalash qurilmasi boʻlib, havo tozaligi qatʼiy talablari boʻlgan muhitlarda keng qoʻllaniladi.
Asosiy ta'rif nuqtalari
To'liq xitoycha nomi: Fan filtri birligi (fan filtri moduli yoki fan filtri birligi deb ham ataladi)
Inglizcha qisqartma: FFU (Fan Filter Unit)
Asosiy funktsiya: havo yuqoridan o'rnatilgan fan tomonidan so'riladi va ikki bosqichda oldingi filtr + yuqori samarali (HEPA) yoki ultra-past penetratsion (ULPA) filtri orqali tozalanadi, so'ngra 0,45 m/s tezlikda toza laminar havo oqimi sifatida yuboriladi.
Strukturaviy xususiyatlar: Modulli dizayn, alohida yoki bir nechta birliklar bilan birgalikda ishlatilishi mumkin, shiftni joylashtirish yoki to'xtatib turish kabi turli xil o'rnatish usullarini qo'llab-quvvatlaydi.
Qo'llaniladigan tozalik klassi: ISO 10 toifasidan (100 000 daraja) ISO 1 toifasigacha (100 yoki undan yuqori sinf) tozalik talablariga javob berishi mumkin.
Odatiy qo'llash stsenariylari
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish (masalan, SMIC 14nm/28nm ishlab chiqarish liniyalari)
Biofarmatsevtika, tibbiy asboblar ishlab chiqarish
Kasalxona operatsiya xonalari, laboratoriyalar
Elektron toza xonalar, toza skameykalar, toza kabinalar va boshqalar.